5G芯片用靶材/5G通信用靶材主要是指制作氮化鋁鈧薄膜用靶材,目前有2種鍍膜工藝,一種是反應濺射,直接用鋁鈧合金靶材通過反應濺做出氮化鋁鈧合金膜,另一種是采用直接鍍膜工藝,采用氮化鋁鈧靶材直接做出氮化鋁鈧薄膜。兩種方法各有優缺點,都是不錯的選擇,科泰新材料為不同客戶提供不同的選擇,科泰開發的鋁鈧合金靶和氮化鋁鈧靶都能很好的滿足用戶要求。
應用于5G領域
5G芯片用靶材/5G通信用靶材主要是指制作氮化鋁鈧薄膜用靶材,目前有2種鍍膜工藝,一種是反應濺射,直接用鋁鈧合金靶材通過反應濺做出氮化鋁鈧合金膜,另一種是采用直接鍍膜工藝,采用氮化鋁鈧靶材直接做出氮化鋁鈧薄膜。兩種方法各有優缺點,都是不錯的選擇,科泰新材料為不同客戶提供不同的選擇,科泰開發的鋁鈧合金靶和氮化鋁鈧靶都能很好的滿足用戶要求。